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    有機金屬化學氣相沈積之先驅物CuII(OCHMeCH2NEt2)2 的合成改良及所成長銅膜的材料性質探討
    • 化學工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 李明達 指導教授:
    • 本研究以有機金屬化合物CuII(OCHMeCH2NEt2)2為先驅物的化學氣相沈積系統探討金屬銅薄膜的材料分析。藉由調整沈積溫度及沈積時間,探討成長出高純度且具有良好之平坦度、緻密性、連續性及低電阻…
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